當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>雷博科學(xué)儀器>>工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備>> DE200顯影機(jī)
顯影機(jī)
顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過(guò)曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來(lái)的過(guò)程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來(lái)的同時(shí),獲得滿(mǎn)足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機(jī)是將曬制好的印版通過(guò)半自動(dòng)和全自動(dòng)的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。
產(chǎn)品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
全自動(dòng)顯影擺臂,可實(shí)現(xiàn)顯影液、去離子水、氮?dú)獾淖詣?dòng)噴灑及吹干
根據(jù)工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴
高精度伺服控制系統(tǒng),性能穩(wěn)定
升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺
根據(jù)工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能
產(chǎn)品參數(shù)
旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
顯影噴嘴數(shù)量:≤3路
顯影工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
設(shè)備尺寸:1000mm(W)*1000mm(D)*1800mm(H)